Piëzo-elektrische draaitafel

Back to all publications

Publication date
Reference E. de Haas, W. Barsingerhorn and J.F. van der Veen, Piëzo-elektrische draaitafel, Mikroniek 36, 142-147 (1996)

Een compacte, nauwkeurige, piëzo-elektrisch aangedreven draaitafel is ontwikkeld voor bedrijf in ultrahoog vacuum. Het aandrijfmechanisme bestaat uit twee gecombineerde knijp- en duwbewegingen. Het koppel van de aandrijving bedraagt 0,7 Nm. De tafel kan links- en rechtsom draaien in stapjes van 1,3 milligraad, met een maximum snelheid van een omwenteling per twee minuten.